關于準分子燈/準分子光照射裝置的常見問題

準分子燈/準分子光照射裝置

•  是否有必要使用陰影？

•  為什么N2需要99.99％或更高的純度？

  在N2純度低的情況下，燈罩內的氧濃度和臭氧濃度將升高。結果，它導致輻射發(fā)散強度的降低，鏡子的損壞以及由于燈劣化導致的低壽命。

•  臭氧排氣怎么辦？

  通常在牽伸機中使用·從管道排出并使用它。請根據(jù)規(guī)格值指定值排氣。另外，請以同樣的方式吹掃吹掃氣體。
  如果您在使用排氣設備時遇到問題，也可以為排氣裝置提供臭氧過濾器。在這種情況下，排氣可以通過帶有臭氧過濾器的排氣裝置釋放到大氣中。
  有關詳細信息，請參閱有關此安裝的說明

•  即使在空氣中也能獲得清潔效果嗎？

  清潔能力取決于到達照射對象的照射強度和照射對象表面上的活性氧濃度。如果您采取過多的GAP，光線將無法到達被照射的物體，并且無法進行清潔。GAP和輻照強度之間的相關圖將在下一頁介紹。
  

•  什么是至佳氧氣氛/間隙？

  由于準分子的清潔效果影響被照射材料的材料，因此需要找到適合于該材料的至佳參數(shù)。有關清潔玻璃基板的參數(shù)，請?zhí)峁┫嚓P信息。

  

•  我該如何評估清潔？

  通常使用水滴測量水和材料的接觸角。簡單地檢查時，還有一種通過呼氣來判斷陰霾狀態(tài)或使用Daiyinpen來判斷的方法。如果你想在不滿足上述測量的情況下判斷原子水平，有些情況下使用XPS。