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這是為了**清潔和干燥8英寸SMIF POD而開發(fā)的前端操作方法的手動設(shè)定方法。
CP-2200是一種清潔和干燥設(shè)備，適用于研究用途，中試線等，具有半導(dǎo)體設(shè)備和先進技術(shù)的容器清潔設(shè)備制造商獨有的先進知識。
CP-2200也可以使用盒式清潔/干燥等。

產(chǎn)品概述

●SMIF箱，同時純水射流清洗，基部內(nèi)表面的氣刀暖風(fēng)干燥的蓋部的內(nèi)表面和外表面
●吊艙旋轉(zhuǎn)時，設(shè)置在靠近噴嘴的精密清洗，干燥
●除了洗滌少量期間純凈水引流到預(yù)防**的產(chǎn)生
操作方便通過●觸摸屏
●序器系統(tǒng)通過控制器
●友好的操作者的各種**裝置
●維修方便
可以是各種各樣的設(shè)計能夠滿足需求的辦法●

規(guī)范

設(shè)定方法	手冊
處理目標(biāo)	8英寸SMIF POD / 8英寸盒式磁帶
處理時間	1套/ 15分鐘
外部尺寸	1300（寬）x 70（長）x 1580（高）毫米（當(dāng)室門打開時）
重量	300公斤
電源	3相，200 VAC（帶接地），8 KVA，50/60 Hz
純凈水	流量	10升/分鐘（低要求流量）
純凈水	壓力	0.1 Mpa
CDA （干凈的干燥空氣）	流量	1600 NL / min
CDA （干凈的干燥空氣）	壓力	0.7 Mpa
排氣	發(fā)動機排量	2000 NL / min或更高
引流	流量	40升/分鐘以上

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產(chǎn)品名稱：重慶直供HUGLE藤宮SMIFPOD清潔系統(tǒng)成都及西南區(qū)客戶共享資源

SMIF POD清潔系統(tǒng)CP-2200

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